凈化潔凈廠房表面潔凈度符合性的規程

根據用戶方的要求，并經雙方商定后的凈化潔凈廠房表面潔凈度的符合性，需要經過測試，并用包括測試條件和測試結果的報告予以證明。

潔凈室及相關受控環境某具體場所的表面潔凈度符合性的驗證測試，應采取適宜的測試方法和使用在有效校準期內的合適儀器進行測試。由于情況較復雜，未知干擾因素較多，宜重復測量多次，以給出可靠的結果。

因靜電作用會增多表面的粒子沉降或附著，測試前通常應事先采取措施降低測試區范圍的靜電荷。如非導電表面也未接地或中和電荷就可能產生靜電電荷，以至可能影響測試結果。

1.凈化潔凈廠房表面特性、粒子形狀等影響因素

在確定表面潔凈度分級測試方法和相應測量儀器之前，須對被測表面的特性以及可能沉降和附著其上的粒子的性狀，都應有所了解、分析和判定，這是順利完成測試工作的必要條件。這些特性的判定技術，應該說并非潔凈室及相關受控環境普通工作人員所須掌握的。為做好表面潔凈度分級測試工作，需要其他專業的技術人員予以支持和幫助。

1.1被測試表面特性

影響測試結果的被測試表面的物理、化學特性主要包括：

(1)表面能量狀態，例如：表面的內聚/黏附特性或親水/疏特性。因為這些特性會影響粒子的吸引和剝離。

(2)表面的孔隙率。一般來說孔隙率越高，表面本身的瑕疵與附著粒子的區分越困難，而光潔平滑的表面較為簡單。

(3)表面的粗糙度、波紋度。一般情況下越粗糙、越不平滑的表面，直接探測粒子較困難，采用間接法時剝離粒子的效率也受影響。

(4)表面的可清潔性。如果表面本身難以清潔，粒子探測與表面自身瑕疵的區分往往復雜，而易于清潔的表面則容易。

(5)表面光學特性。若采用直接測試法測量時，待測表面的不同光學特性，將產生不同的測量結果。因此選取測量方法時須關注表面自有的光學特性。

(6)表面的電磁特性。表面的靜電特性或磁特性，對帶靜電和帶磁性的顆粒物可產生吸引作用，影響與其的剝離。

1.2粒子的形狀

(1)粒子本身的外形和電磁特性，可能影響測量結果。

(2)粒子形狀的其他影響：如從表面剝離出的長形粒子和圓形粒子，其光學粒子計數器的測值可能相同，但其重力值完全不同。一般長寬比大于或等于10的粒子認作為纖維。

1.3某些表面特性的測試方法

表面特性是選擇表面潔凈度分級測試方法的重要依據，一般應將表面特性的判定結果反映在潔凈度分級測試報告中，作為輔助說明。

(1)粗糙度

表面粗糙度對表面的許多物理特性都有影響。粗糙度存在兩個基本平面：表面所在的平面視為“質地”，與表面呈直角的平面，其特性可用高度描述。通常以波紋度描述表面粗糙度的特性。

測定粗糙度常用的光學方法是使用顯微鏡法(光學、共聚焦、干涉法等)。測量粗糙度的機械方法是使用觸針式儀器。可參考《產品幾何技術規范(GPS)表面結構 輪廓法評定表面結構的規則和方法》。

(2)孔隙率

孔隙率是對材料內中空空間的量度，以0~100%間的百分數表示。總體積中流體能有效地在其中流過的那部分體積(不包括不相連的空孔洞或空穴)占總體積的比率，稱之為有效孔隙率，也稱為開孔率。中凈環球凈化可提供潔凈廠房、凈化車間的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

直徑≥50nm的孔稱為大孔，流體流經大孔是以體相擴散形式出現的；2nm≤直徑<50nm的孔，稱為介孔；直徑<2nm的孔稱之為微孔，微孔中的流體運動屬于活性擴散。

測定孔隙率的方法有：體積/密度法較簡單。用材料重量除以材料密度，即可得出減去孔的容積后材料所占據的體積。其精度一般在實際孔隙率的±20%以內，此外還可采用水飽和法、壓汞法。對于精細孔隙率還可以采用氮氣吸附法。

1.4靜電

此處的靜電是指材料表面上電子不平衡產生的電荷。這種電子不平衡產生的靜電場會影響表面潔凈度的測定，特別是對表面粒子采用間接測量方法時。測量待測表面的靜電放電(ESD)特性，有助于評估其對表面粒子剝離影響。

2.凈化潔凈廠房表面潔凈度測試報告

各規定測試表面的測量結果，以綜合報告的形式提交，并說明與要求的表面潔凈度(SCP)等級相符與否。測試報告至少應包括以下各項：

(1)基本資料

測試日期和時間；

測試單位的名稱，資質，地址；

測試人員姓名，職稱。

(2)參照文件

所參照標準、指南、規定及相應的出版編號。本部分的編號為：《潔凈室及相關受控環境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級》。

(3)環境狀況

采樣時環境狀況(溫度、濕度、潔凈度等)；

間接法測量時環境條件(溫度、濕度、潔凈度等)；

測量所在位置(房間等)。

(4)樣本資料

對測試對象的清楚識別；

對測試對象的詳細說明；

測試樣本的圖樣和草圖；

測試方案。

(5)測試方案的說明材料

a.測量設備

所采用儀器和裝置的型號、出廠日期等，及有效期內的校準證書；儀器的測量范圍、量程、精度等。

b.測試工作

所用測試方法的相關詳情，對偏離測試方法的可用數據的說明；所測表面的明確位置和面積，并注明表面具體坐標；

采樣前的表面條件(如清潔后，包裝后，處于大氣和真空環境等)；

規定的檢測和測量步驟、方法；

采樣及測量期間的室內占用狀態；

所有商定的文件(如原始數據，背景粒子濃度，圖片，清潔和包裝)；

使用間接方法時，采樣持續時間、地點和位置；

直接測量時持續的時間和位置；

測量或采樣期間值得關注的觀測結果(如適用)；

所進行的測量次數。

c.測試結果與分析

測量值和對測量值的分析；

數據質量說明；

所進行的全部測試結果，包括給定的粒徑粒子濃度值；

按粒子濃度劃分的表面潔凈度，以SCP N 級表示；

潔凈度表面的驗收標準，如供需雙方事先有約定。

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