潔凈室凈化空調系統(tǒng)劃分與設備配置要求

       凈化空調系統(tǒng)的劃分潔凈室的凈化空調系統(tǒng)除了控制受控環(huán)境的溫度、相對濕度外更重要的是要控制潔凈區(qū)內的空氣潔凈度、壓力或靜壓差;凈化空調系統(tǒng)的空氣處理過程包括熱、濕處理和凈化處理(經粗效、中效或亞高效、高效或超高效過濾器過濾)，還要根據(jù)產品生產工藝要求設置過濾器或淋水器等;凈化空調系統(tǒng)送風、回風的氣流組織應有利于減少塵粒的擴散，避免潔凈氣流受污濁，以確保輸送至潔凈工作區(qū)的空氣潔凈度。凈化空調系統(tǒng)所采用的凈化空調設備、風管及其附件、密封材料的材質按潔凈度等級的不同有嚴格的要求。潔凈區(qū)的凈化空調系統(tǒng)一般風量較大、風壓較高，能耗較大、運行費用高，在系統(tǒng)安裝后，應按規(guī)定進行嚴格的調試、性能測試，并經性能評價達到合格要求。潔凈室凈化空調系統(tǒng)的劃分應考慮滿足產品生產工藝要求、適應生產工藝特點的需要，防止產品生產過程的交叉污染和由此對產品質量或工作人員身體健康的影響，有利于產品生產過程的安全運營，避免可能誘發(fā)不安全因素的形成，方便運行管理，降低系統(tǒng)整體或全部運行能量消耗，減少設備、管路投資等多種國素。在國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》中對凈化空調系統(tǒng)劃分的規(guī)定是，具有下面情況之一者，凈化空調系統(tǒng)宜分開設置。凈化空調系統(tǒng)的設置方式潔凈室中的凈化空調系統(tǒng)有集中設置方式和分散設置方式，集中設置方式是將空氣處理機組(AHU)集中設在空調機房內，在空調機組內集中進行初效、中效或亞高效空氣過濾凈化和熱、濕處理，然后由送風管道輸送至潔凈區(qū)的吊頂上部，經過設在頂棚上的末端高效空氣過濾器或高效過濾器送風口進行終端凈化送入潔凈區(qū)，實現(xiàn)產品生產工藝對潔凈度、溫度，相對濕度和壓力的要求。

潔凈區(qū)回風經回風口、回風管再返回至空調機房的空調機組內與新風混合，重復進行熱、濕處理和凈化處理。這類集中式系統(tǒng)可有全新風(直流系統(tǒng))方式，一次回風方式和一、二次回風方式以及MAU+RAU方式等。集中送風方式采用數(shù)臺大型新風機組和凈化循環(huán)機組集中設置在空調機房內，空調機房可位于潔凈區(qū)的側而或頂部；經過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸流風機加壓通過風管送入送風靜壓箱，再經由高效過濾器或超高效過濾器過濾送入潔凈區(qū)?；仫L經格柵地板系統(tǒng)流入回風靜壓箱，再回到凈化空調系統(tǒng)的循環(huán)系統(tǒng)，如此反復循環(huán)運行。隧道潔凈區(qū)送風方式這種送風方式一般把潔凈室劃分為生產核心區(qū)、維護區(qū)。生產核心區(qū)要求高潔凈度等級和嚴格的溫、濕度控制，設在單向流送風區(qū)內;維護區(qū)要求較低，設置生產輔助設備或無潔凈要求的生產設備尾部和配管配線等。生產區(qū)為送風區(qū)，維護區(qū)為回風區(qū)，構成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風由多臺循環(huán)空氣系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域的生產環(huán)境潔凈度等級,并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產品生產需要進行分區(qū)調整控制。潔凈區(qū)的回風經維修區(qū)與新鳳處理裝置(MAU)處理后的新風混合，由循環(huán)空氣處理裝置送入送風靜壓箱，通過空氣過濾器送入潔凈生產層。潔凈區(qū)的回風經表冷器降溫后與處理后的新風混合，通過FFU增壓、過濾送入潔凈生產層。風機過單元送風方式這是在潔凈區(qū)的吊頂上安裝多臺風機過濾單元機組，FFUD、構或凈化循環(huán)機組，不需要配置凈化循環(huán)空調機房，送風靜壓箱為負壓，空氣由FFU送到潔凈室。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、無菌車間等的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

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